真空系统的极压的稳态平衡方程：p系统的极限压力[Pa] in，Pamdash，mdash，泵送后系统中原始气体达到的平衡压力[Pa] ，P气体的泄漏率[Pa。 L / s]，齐系统除气率[Pa。 L / s]，P气的Se系统抽气速度[L / s]，f气的Si系统抽气速度[L / s]，Pjmdash，mdash，泵对ji气体的极限压力[Pa]， -泵到真空室的电导率用于j气体[L / S]，Sj-泵用于Ji气体[L / s]。等式（16-1）右侧的第二项等于泄漏空气对极限压力的贡献，第三项代表各种气体释放源对极限压力的贡献，第四项代表泵（极限）从压力（Pj）产生的返回气体对极限压力的贡献。式（16-1），我们可以看到：为了使p达到很高的真空度，每一项的值必须至少达到真空度的顺序。每个项目都来自许多分压的总和。的真空抽气泵对气体具有选择性，总压力必须表示为分压之和。因此，必须对气体源进行单独的分析，即不仅要分析气体量，还要分析除气成分。这不同于一般的真空系统。还应根据引气量和引气成分来考虑泵的选择，并且不得丢弃两者。