隔膜真空阀使用阀杆直接将阀膜上的橡胶膜压紧，以切断或连接真空系统。阀体由铝合金制成，结构简单，体积小，重量轻，密封性能好。采用丁腈橡胶膜片，适用于前级和预抽管道的无腐蚀性气体，温度为-25℃〜80℃。采用氟橡胶膜片，可在高真空系统中使用，温度范围为200℃。 -30℃—150℃。 ①上海第二阀门厂生产的GM高真空隔膜阀有GM型，GM-C型，GM-C-KF型，GM-DH（工业）型和GM-DH（Ⅱ）型。主要技术性能见表7-17〜表7-21。 GM型高真空隔膜阀用于打开或关闭真空系统。连接管焊接真空隔膜阀是溴化锂制冷设备的理想配件。适用的介质是空气和非腐蚀性气体。 ②上海万科高科技有限公司生产的GM型真空隔膜阀有GM-B，GM-C，GMH-A和气动GMQ-A，GMQ-B和GMQ-C六种类型。 。有关其外部尺寸和主要技术指标，请参见表7-22和表7-23。 ③上海万通高科技有限公司生产的GMD气动真空隔膜阀以压缩空气为动力，通过气缸执行器打开和关闭真空阀。可广泛用于自动控制真空设备。其气动控制方法为：二位二通，弹簧复位，常闭，二位二通，弹簧复位，常开，二位二通，三作用执行器。阀体材质为304，316L，泄漏率le，1倍，10-6Pamiddot，L / s，阀寿命ge，30,000次。请参阅表7-24中的尺寸。 ④沉阳科学仪器开发中心有限公司生产的隔膜阀DM-1的主要技术性能参数及尺寸见表7-25。