与低真空单元相比，在分子流状态下工作的高真空排气单元具有较低的工作压力（10 ^ -2Pamdash，10 ^ -4Pa），较小的排气量和较大的抽速。该单元的主泵通常是扩散泵，扩散增压泵，分子泵，钛泵，低温冷凝泵等。这些泵不能直接在大气中工作，因此需要配备预泵或前级维护泵。一些扩散泵高真空抽气单元还配备了前空气储罐，以防止压力波动并提高单元性能。预泵（粗泵）主要用于去除真空室内的大量气体，使真空室内的压力从1倍10 ^ 5Pa降至主泵可以开始工作的真空度。因此，预泵的压力低于主泵的启动工作压力。预泵（例如机械泵）的抽速取决于粗抽时间。可以从公式（9-11）导出