氦质谱仪的一项新发展是出现了回流检漏仪，如图13-33所示。该仪器的优势在于，由于其质谱仪室位于高真空侧，并且测试件连接到前部位置，因此可以在较低真空下检测到测试件并减少了测试件的数量。质谱仪室的污染对仪器的污染。该仪器基于以下原理：油扩散泵的各个喷嘴的喷嘴压力比与气体质量有关。扩散泵各级喷嘴的压力比（即压缩比）可以表示为：从上式可知，气体量越小，压力比越小。多级扩散泵的压力比可以达到：氦气为102，空气中其他气体成分为10 ^ 4〜10 ^ 6。当质谱仪管连接到泵的总管上，并且试件连接到泵的前级管时，氦气通过泄漏进入前级管后，仍有一些氦气仍流回到质谱仪管中，泄漏信号。该检漏仪的灵敏度估计达到10 ^ -5Pa.L / s〜10 ^ -8Pamiddot，L / s。