可以将用于真空残留气体分析的质谱仪用于泄漏检测（泄漏的材料可以是氢气，氦气，氩气等），但是泄漏检测的灵敏度不同，请参见表13-14。自从1940年代质谱仪用于泄漏检测以来，泄漏检测技术已经取得了长足的进步。用于泄漏检测的质谱仪称为质谱仪。具有灵敏度高，性能稳定的特点。特别地，使用氦气作为泄漏指示气体的质谱仪泄漏检测器是具有高灵敏度z *且在真空泄漏检测中通常使用z *的泄漏检测仪器。