污染抽真空室时，必须清洁真空室以尽快达到所需压力。真空系统中的典型污染物包括：■真空系统产生的残留物表面，螺钉和密封上的油脂■■与应用相关的污染物过程反应产物，灰尘和颗粒■与环境相关的污染物冷凝蒸汽，尤其是被吸收的水分在容器壁上。因此，在安装真空设备时必须确保组件尽可能清洁。真空室内安装的所有组件必须清洁且无油脂。安装的所有密封件必须是干燥的。如果不可避免地要使用真空润滑脂，而仅仅是密封安装而不是密封剂，则必须格外小心。如果要产生高真空或超高真空，则在组装过程中必须戴上干净，无绒且无粉尘的手套。