外延技术是制备纳米半导体薄膜的新技术。利用这种技术，可以制备具有相同的晶体取向和衬底以及完整的字符结构的纳米半导体单晶薄膜。典型的外延技术包括气相外延（VPE），液相外延（LPE）和分子束外延（MBE）。近年来，诸如金属有机气相外延（MOCPE），等离子体辅助外延（IV正），原子层外延（ALE），选择性区域外延（SAE）和金属有机分子束外延等技术，或化学束外延技术（CBE）已经应用于纳米技术。半导体薄膜的制备越来越受到关注。